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            真空系統的簡(jiǎn)單介紹及部分名詞

            真空系統其實(shí)就是真空機組的一個(gè)類(lèi)似的稱(chēng)呼,真空機組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環(huán)真空設備,它不見(jiàn)得有一些諸如散熱器,冷凝器等等設備存在。而一般能稱(chēng)為真空系統的肯定是各種零部件齊全。真空應用設備種類(lèi)繁多,但無(wú)論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣系統,以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例來(lái)說(shuō):一個(gè)真空處理用的容器,用管道和閥門(mén)將它與真空泵連接起來(lái),當真空泵對容器進(jìn)行抽空時(shí),容器上要有真空測量裝置,這就構成了一個(gè)最簡(jiǎn)單的真空抽氣系統。那么真空系統相比較于機組來(lái)說(shuō)有多少泵組成呢?這個(gè)是不確定的,我們先來(lái)認識一下可能存在的泵的名詞解釋。
              (1)主泵:在真空系統中,用于獲得所需要真空度來(lái)滿(mǎn)足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。
              (2)前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。
              (3)粗抽泵:從大氣壓下開(kāi)始抽氣,并將系統壓力抽到另一真空泵開(kāi)始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。
              (4)維持泵:在真空系統中,氣量很小時(shí),不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來(lái)維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵,就是維持泵。
              事實(shí)上簡(jiǎn)單的真空系統只是能獲得一個(gè)粗真空,而想要獲得高真空時(shí),通常在真空系統中串聯(lián)一個(gè)高真空泵,比如羅茨泵和螺桿泵等都是獲得高真空的泵。當串聯(lián)一個(gè)高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門(mén),以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個(gè)油擴散泵,為了防止大量的油蒸氣返流進(jìn)入被抽容器,通常在油擴散泵的入口加一個(gè)捕集器——水冷障板。根據要求,還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥,散熱器等等,這樣就構成了一個(gè)較完善的高真空系統。

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